Примеры применения лазеров
Выращивание 1-го слоя |
Выращивание N-го слоя |
Выращивание последнего слоя |
Готовое изделие |
Рис. 19. Послойное «выращивание» объекта
Лазерное получение особо чистых веществ
В качестве примера приведём получение особо чистых материалов микроэлектроники.
Для получения особо чистого кремния газ SiH4 очищался от остаточных примесей с помощью излучения эксимерного ArF — лазера с длиной волны 196 нм. В результате органические примеси диссоциировали и получен кремний с рекордным значением содержания примесей — 1010 в см3.
Один из важных материалов полупроводниковой электроники — трихлорид мышьяка — AsCl3 очищается от основных примесей — 1,2-дихлорэтана C2H4Cl2 и четырёххлористого углерода — CCl4 облучением излучения CO2 — лазера, которое приводит к диссоциации молекул примесей при настройке частота на соответствующие линии поглощения.
Лазерный синтез новых соединений
- Поливинилхлорид — лазерное излучение позволило снизить температуру синтеза и избавиться от примесей.
- Синтез витамина D (2 стадии — KrF- и азотный лазеры).
- Фрагментация молекул: SF6 – SF5 – SF4.
- Синтез молекулы P2N5.
Лазерная стереолитография
Лазерная стереолитография — одна из технологий быстрого прототипирования. Технология лазерной стереолитографии основана на фотоинициированной лазерным излучением или излучением ртутных ламп полимеризации фотополимеризующейся композиции (ФПК).