СО2-лазеры с различным способом получения инверсии
Таблица 1
Сравнительная характеристика СО2-лазеров с различным способом получения инверсии
Название | Метод накачки | P, кВт | P/L0, кВт/м | P/Q, Дж/л | P/a, Дж/г | ηэоηp |
Эксимерные установки | Поперечный самостоятельный разряд | 1,0 | 1 | 0,4 | 15 | 0,06 |
Mitsubishi | Поперечный самостоятельный разряд | 1,5 | 0,9 | 1,7 | 17 | - |
QTE-973 Spectra Physics | Поперечный самостоятельный разряд | 3 | 3,3 | 1,3 | 60 | 0,06 |
ЛТ-1 | Поперечный самостоятельный разряд | 5 | 5,5 | 1,8 | 35 | 0,06 |
GL-5 | Поперечный самостоятельный разряд | 5 | 5,0 | - | - | 0,07 |
ТЛ-10 | Поперечный самостоятельный разряд | 10 | 7,7 | 1,4 | 36 | 0,08 |
CO2-ЭИЛ | Поперечный несамостоятельный разряд с электронным пучком | 10 | 10 | 1,1 | 20 | 0,09 |
«Циклон» | Продольный несамостоятельный разряд с периодической ионизацией | 6 | 7,9 | 0,7 | 31 | 0,09 |