Получение особо чистых веществ
Для получения особо чистого кремния газ SiH4 очищался от остаточных примесей с помощью излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 196 нм. В результате органические примеси диссоциировали и получен кремний с рекордным значением содержания примесей — 1010 в см3.
Рис. 29. Очистка газа AsCl3 методом селективной диссоциации примесных молекул CCl4 и C2H4Cl2 излучением CO2-лазера
Один из важных материалов полупроводниковой электроники — трихлорид мышьяка — AsCl3. Очищается от основных примесей — 1,2-дихлорэтана C2H4Cl2 и четырёххлористого углерода CCl4 облучением излучения CO2-лазера, которое приводит к диссоциации молекул примесей при настройке частоты на соответствующие линии поглощения.
32/39
