Лазерные технологии
Изготовление фотошаблонов микросхем Проекционный и контурно-проекционный методы
Содержание

Проекционный и контурно-проекционный методы


Проекционный метод (микропроекция)

Контурно-проекционный (проекционно-сканирующий) метод