Лазерные технологии
Метод скрещивающихся пучков для устранения капель АCМ изображение участка тонкой плёнки кремния без капель
Содержание

АCМ изображение участка тонкой плёнки кремния без капель


Фотография плазменного пучка, сформированного двумя пересекающимися факелами

АCМ изображение участка тонкой плёнки кремния без капель, толщиной 150 нм, с шероховатостью поверхности 0,5 нм