Атомный зонд — микроанализатор с пространственным разрешением порядка размера атома, представляющий собой полевой ионный микроскоп (ионный проектор) в сочетании с масс-спектрометром. Полевой ионный микроскоп визуализирует поверхность проводящего кристалла с атомным разрешением. Далее выбранный для исследования атом (или атомы) удаляется с поверхности, ионизуется за счёт полевого испарения или десорбции полем, а затем направляется в масс-спектрометр для идентификации. Атомный зонд выявляет не только массу, но и кратность анализируемого заряда. Первый атомный зонд был построен Э. Мюллером с сотрудниками (1968 год).