Атомный фактор — величина, характеризующая способность изолированного атома или иона когерентно рассеивать рентгеновское излучение, электроны, нейтроны. Величина атомного фактора и его зависимость от угла рассеяния и длины волны излучения определяются физической природой взаимодействия излучения с атомом.