Дифракция медленных электронов — дифракция электронов с энергиями от десятков до сотен эВ; один из основных методов изучения структуры приповерхностных слоев монокристаллов толщиной ~1 нм. Толщина исследуемого слоя определяется глубиной проникновения электрона в кристалл без потери энергии.