Сканирующий атомно-силовой микроскоп — прибор для изучения поверхностей твёрдых тел с разрешающей способностью порядка межатомных расстояний, основанный на сканировании исследуемого участка образца плоской пружиной, свободный конец которой (или укреплённое на нём остриё) удалён от поверхности образца на расстояние в несколько ангстрем. Изобретён Г. Биннингом, К. Ф. Куатом и К. Гербером в 1986 году. При таких расстояниях сила взаимодействия между двумя ближайшими атомами, расположенными соответственно на кончике острия и на поверхности образца, составляет 10^-7–10^-9 Н. При жёсткости упругого элемента порядка 1 Н/м это приводит к измеримой деформации пружины. При сканировании цепь обратной связи поддерживает деформацию пружины (и тем самым силу взаимодействия). Синхронная со сканированием запись сигнала обратной вязи представляет собой запись профиля поверхности постоянной силы, т. е. фактически поверхности образца. Т. к. силы взаимодействия между атомами острия и поверхности быстро спадают с расстояние, то разрешающая способность сканирующего атомно-силового микроскопа может достигать 0,001 нм по вертикали и 0,1 нм по горизонтали.