•   Лазерная технология полупроводников. Часть 1
  •   Классификация лазерных технологических процессов в микроэлектронике
  •   Подготовительные операции. Очистка поверхности
  •   Подготовительные операции. Геттерирование
  •   Основные операции. Окисление