Основные операции. Осаждение тонких плёнок
|
|
|
a) |
б) |
в) |
Рис. 17. Микрофотографии поверхности плёнок YBa2Cu3O7 − δ с 4000-кратным увеличением:
а) для традиционного варианта напыления (конфигурация I); б) для напыления в конфигурации II; в) для напыления с экранированием прямого потока распылённого вещества
Рис. 18. Параметры напыления:
1 — без экрана, подложнка SrTiO3 (100); 2 — с экраном, подложка SrTiO3 (100); 3 — с экраном, подложка YSZ (100)
17/27
