Основные операции. Осаждение тонких плёнок

Более перспективным для использования в микроэлектронике могут оказаться плёнки соединения Bi-Ca-Sr-Cu-O, которое более стабильно во времени, чем Y-Ba-Cu-O, и менее активно реагирует с кремнием. Методом лазерного испарения удалось получить плёнки с сохранением стехиометрии мишени на подложку, нагретую до 450° при условиях: длина волны — 1,06 мкм, энергия импульса — 390 мДж, частота повторения — 10 Гц, длительность импульса — 200 мкс, время осаждения — 10 мин., начальное давление в камере — 5·10⁻³ мм. рт. ст., давление при осаждении — 6·10⁻² мм рт. ст.

Рис. 19. Вид в разрезе Y-B-C-O проводника 2го поколения