Основные операции. Осаждение тонких плёнок

а)	б)

Рис. 6. Фотографии тонких плёнок кремния, полученных методом ЛВЭ:
а) без скоростного сепаратора; б) с вращающимся диском

а)	б)

Рис. 7. Фотографии тонких плёнок ZnO, полученных методом ЛВЭ: а) без скоростного сепаратора; б) с вращающимся диском