Основные операции. Осаждение тонких плёнок

Рис. 5. Схема лазерного напыления со скоростным фильтром:
1 — вращающаяся мишень; 2 — сфокусированный лазерный луч; 3 — эрозионный плазменный факел; 4 — диафрагма; 5 — вращающийся экран с прорезью

Использование лазерных импульсов с плотностью потока вблизи q⁴ минимизирует количество крупных включений в распылённом потоке, однако не позволяет вовсе избавиться от макрочастиц и капель. С этой целью применяются дополнительные технологические приёмы для выделения частиц мелкодисперсной фракции из общего потока распылённого материала. Один из путей использование того обстоятельства, что скорость крупных фрагментов и капель на два порядка меньше скорости полезной части потока. Для их отсечения можно использовать механические скоростные фильтры вертушки или заслонки, движение которых синхронизировано с лазерными импульсами (рис. 5).

Этот метод позволяет весьма эффективно избавляться от жидких капель и крупных фрагментов в эрозионном потоке, возникающих при плавлении и частичном разрушении мишени.

Эффективность работы механического фильтра можно оценить по фотографиям тонких плёнок, полученных методом ЛВЭ, выполненных с помощью атомно-силового микроскопа.