Основные операции. Осаждение тонких плёнок

Если плотность потока лазерного излучения ненамного превышает пороговое значение абляции, количество крупных включений в распылённом потоке минимально. Вместе с тем, значительное превышение порога плазмообразования q⁴ приводит к дополнительному разрушению мишени и вовлечению впаро-плазменныйэрозионный поток крупных фрагментов, что вследствие бомбардировки подложки ухудшает морфологию синтезируемых плёнок. В качестве примера на рис. 4 приведены фотографии поверхности плёнок олова, снятые на атомно-силовом микроскопе, синтезированные при небольшом превышении порога плазмообразования (справа) и при достаточно больших значениях плотности мощности лазерного излучения на мишени (слева). Видно, что значительное увеличение плотности мощности выше критического значения q⁴, на порядок увеличивает шероховатость поверхности синтезированных плёнок.

а)	б)

Рис. 4. АСМ изображения поверхности тонких плёнок ¹¹⁹Sn, полученных при различной плотности мощности излучения АИГ:Nd ³⁺-лазера:
а) 1,85·10⁹ Вт/см², шероховатость 20 нм; б) 2,5·10⁸ Вт/см², шероховатость 2 нм