Лазерные технологии
12. Лазерная технология полупроводников. Часть 1 Классификация лазерных технологических процессов в микроэлектронике
Скачать Содержание

Классификация лазерных технологических процессов в микроэлектронике


Таблица 1

Характеристики лазерного излучения, используемые в процессах микроэлектроники

№ п/п Технологические процессы Плотность мощности лазерного излучения, Вт/см2 Температура процесса, °С Длина волны лазерного излучения, нм
1 Фотохимические До 105 До 300 100…400
2 Термохимические 105…108 300…1100 100…900
3 Осаждения, травления и очистка материалов 103…108 300…1100 100…400
4 Отжиг, диффузия, легирование >108 900…1200 500…1100
5 Эпитаксия, рекристаллизация >108 1100…1400 1100…10 200
6 Сварка, резка >108 >1500 1100…10 200

Рис. 6. Классификация технологических процессов производства СБИС