Основные операции. Осаждение тонких плёнок

Рис. 10. Фотография плазменного пучка, сформированного двумя пересекающимися факелами

Рис. 11. АCМ изображение участка тонкой плёнки кремния без капель, толщиной 150 нм, с шероховатостью поверхности 0,5 нм