Завершающие операции. Лазерное скрайбирование

Рис. 22. Диаграмма, поясняющая принцип технологии «stealth dicing» (SD — линия, вдоль которой движется лазерный пучок, формирующий полосу

a)	б)

Рис. 23. Линии «скрайбов», полученные при помощи алмазного резака (а) и по технологии «stealth dicing» (б)