Завершающие операции. Маркировка
В настоящее время применяются два способа лазерной маркировки: сфокусированным пучком и широким пучком через маску. Последний осуществляется СО2-лазерами, а маркировка сфокусированным пучком в основном осуществляется АИГ:Nd-лазерами в режиме модуляции добротности или в импульсном режиме; могут использоваться также непрерывные СО2-лазеры. При этом формируются символы из последовательности регулярно распределённых или перекрывающихся точек. Для управления лазерным лучом в двух взаимно перпендикулярных направлениях используются электромеханические дефлекторы — зеркала с гальванометрическим приводом. Использование программного управления позволяет изменять параметры сигнала для маркировки.
Рис. 26. Оптическая схема лазерной маркировки, используемая для создания электродов «плоских» экранов из тонкой ITO-плёнки (In,Sn)O — оксид индия, олова